尾气（氢气+氯硅烷）回收技术
为节约能源资源、发展循环经济、保护环境提供技术解决方案和专用装备，主要包括节能产业、资源循环利用产业和环保装备产业，涉及节能环保技术与装备、节能产品和服务等；涉及领域包括：节能技术和装备、高效节能产品、节能服务产业、先进环保技术和装备、环保产品与环保服务。为用户提供高效节能、先进环保、资源循环利用关键技术装备、产品和服务。
新材料工艺装备
尾气（氢气+氯硅烷）回收技术
为节约能源资源、发展循环经济、保护环境提供技术解决方案和专用装备，主要包括节能产业、资源循环利用产业和环保装备产业，涉及节能环保技术与装备、节能产品和服务等；涉及领域包括：节能技术和装备、高效节能产品、节能服务产业、先进环保技术和装备、环保产品与环保服务。为用户提供高效节能、先进环保、资源循环利用关键技术装备、产品和服务。
主要通过低温吸收，变温及变压吸附等工艺，将氢气及氯硅烷从工艺废气中分离出来以达到循环利用的目的。
技术优势：
u 氢气回收率高，氢气回收率≥80%；
u 通过STC吸收原料气中的氯硅烷，达到最大程度回收氯硅烷，原料重复利用；
u 通过干燥吸附-再生-二次吸附，最大限度的回收氢气，减少氢气排放，同时提高氢气的纯度；
u 利用变压吸附的废气对变温吸附设备进行反吹，节约公用工程用气；
u 采用全新的脱氧技术，节能环保；
采用变温吸附和变压吸附串联操作，能够快速有效地达到氢气提纯的目的；此方法废气处理量大。
